低温冷却液循环装置
一、概述
低温冷却液循环装置是指通过机械或电子方式将低温冷却液(通常为液氮或液氧)从低温储罐中抽取并循环输送到需要冷却的设备中,以达到快速冷却的目的。该技术主要应用于以下领域:
1、半导体工业:在半导体加工过程中,需要对晶圆进行降温处理,以---其表面平整度和尺寸稳定性。
2、医学领域:在医学实验和---手中,需要对人体---进行低温保存或冷冻处理,以防止生命体征的消失。
3、材料工业:在材料研究和生产中,需要对某些高温熔融的物质进行快速冷却,以---其结晶性能。
4、航空航天领域:在船舶、火箭等高速运动器材中,需要对器材进行风冷或液氮循环冷却,以---器材正常运转和---久。
二、原理
低温冷却液循环装置主要由低温储罐、泵、传感器、连管等组成。其工作原理如下:
1、储罐:低温储罐是存放低温液体的容器,通常采用双层真空隔热结构,以减少气体散失和温度损耗。
2、泵:低温液体通过泵抽取并流入设备内部,实现快速冷却效果。通常采用机械泵或涡轮泵等方式,以---液体流量和压力的稳定性。
3、传感器:低温液体循环过程中,需要对其压力、流量、温度等参数进行实时监控和调节。传感器可以通过数字化技术将数据传输给中控制系统,以实现自动化控制和报警功能。
4、连管:低温液体通过连管流入设备内部,以达到快速冷却的效果。连接管道采用耐高压、耐低温材料,以---液体安全流通。
三、特点
1、---性:低温冷却液循环装置具有快速冷却、---节能等特点,可有效提高生产效率和降低能源消耗。
2、稳定性:低温液体循环过程中,传感器可以实时监测和调节其参数,以---系统运行稳定,并防止因温度波。
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低温冷却液循环装置